簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共1筆資料 檢索策略： "流場可視化".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="溫度場可視化"


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    以流場與溫度場可視化方法探討化學機械平坦化製程中晶圓溫度分布與製程表現之關係
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    • 本研究建構一套化學機械平坦化(Chemical Mechanical Planarization, CMP)之流場可視化(Flow Visualization, FV)與溫度場可視化(Tempera…
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